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초박막 메타렌즈 대량 생산용 소재 및 가공 기술 개발
‘이달의 과학기술인상’은 우수한 연구개발 성과로 과학기술 발전에 공헌한 연구개발자를 매월 1명씩 선정해 과기정통부 장관상과 상금 1000만 원을 수여하는 상이다.
과기정통부와 연구재단은 노준석 교수가 하이브리드 고굴절 소재와 나노 공정 기술을 기반으로 초박막 메타렌즈 대량 생산에 성공해 초소형 광학기기 개발의 새로운 가능성을 제시한 공로를 높이 평가했다고 설명했다.
메타렌즈는 아주 얇으면서 빛을 원하는 만큼 원하는 방향으로 자유롭게 조절할 수 있다.초고분해능 현미경,음굴절 물질,속성 월드컵스텔스 기술 등 혁신적인 첨단 분야에 응용될 수 있는 미래 기술이다.
하지만 메타렌즈는 나노구조체로 이뤄져 있어 관련 공정을 위해서는 고해상도 패터닝 기술이 필요하다.해당 기술은 공정 속도가 느리고 생산 단가가 높아 연구용의 소형 메타렌즈의 소량 공정만 가능하고 대량 생산과 상용화에는 한계가 있었다.
노준석 교수는 소재 부분 난제였던 초고가 고굴절 소재를 대체하기 위해 기존 폴리머에 고굴절 원자층 박막을 20nm 정도로 매우 얇게 코팅해 렌즈 효율을 10%에서 90%까지 끌어올릴 수 있는 하이브리드 고굴절 소재를 구현했다.
공정 부분에서는 전자빔 리소그래피,속성 월드컵포토 리소그래피,속성 월드컵나노 임프린트 리소그래피 등 3가지 나노 공정 기술을 복합적으로 사용해 가시광선 영역에서 작동하는 메타렌즈를 12인치 웨이퍼에 대량 생산할 수 있는 기술을 개발,속성 월드컵생산 단가를 기존 대비 300분의 1 수준으로 낮추는 효과를 거뒀다.
노준석 교수는 “메타렌즈는 2019년 다보스포럼에서,속성 월드컵혁신성을 인정받아 세계10대 기술로 뽑혔지만,속성 월드컵비싼 가격으로 제조혁신이 요구됐다”라며 “이번 연구는 미래 광학 기술의 핵심인 가시광선 영역의 메타렌즈 대량 생산을 세계 최초로 성공한 데 의의가 있다”고 말했다.
이어 “앞으로 공상과학 영화에서나 볼 수 있었던 초소형 증강현실 안경과 초현실 홀로그래피와 같은 미래 광학기기 개발에 선도적인 역할을 수행할 것”이라고 밝혔다.
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