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세계 1위 SK하이닉스 분석
(4) 함께 성장하는 HBM 협력사

대세 HBM 올라 탄 SK하이닉스 협력사
ALD 장비 주성엔지니어링 이익 384% 급증

수율 전쟁 격화에 세정 장비 수요 증가
코미코,제우스 수혜

나노미터 넘어선 정밀 검사
파크시스템스,오로스테크 실적 늘어한국경제신문 반도체 담당 기자들이 온라인 코너 '반도체 포커스' 연재를 시작합니다.삼성전자,SK하이닉스 같은 한국 반도체 대기업과 엔비디아 등 외국계를 담당하는 산업부 전자팀,반도체 최신 기술을 취재하는 테크&사이언스부 테크 담당,중소기업부 반도체 소재·부품·장비 담당 기자가 함께합니다.국내외 반도체 산업 생태계 곳곳에서 발생한 뉴스를 한경 만의 관점을 담아 전해드립니다.

SK하이닉스가 CES2025에서 선보인 HBM3E 16단 제품의 모습.연합뉴스
SK하이닉스가 CES2025에서 선보인 HBM3E 16단 제품의 모습.연합뉴스
지난달 25일 서울 광장동 그랜드 워커힐 호텔에서 열린 SK하이닉스의 '2025년 동반성장협의회 정기총회' 분위기는 어느 해보다 화기애애했다.곽노정 SK하이닉스 사장(CEO)은 "SK하이닉스가 AI 시대에 잘 대처할 수 있었던 것은 소재,부품,장비,카지노 1회 다시보기인프라 협력사의 노력과 지지가 있었기에 가능한 일"이라며 "대외 불확실성이 커지고 있지만 협력사와의 '원팀 파트너십'으로 함께 성장해 나갈 것"이라고 말했다.협의회장을 맡고 있는 황철주 주성엔지니어링 회장은 "고대역폭메모리(HBM)과 같은 AI 메모리 기술 혁신이 가능했던 건 SK하이닉스와 협의회 회원사들이 두터운 신뢰를 기반으로 상호 협력을 강화했기 때문"이라며 "더 큰 믿음으로 파트너십을 강화하고,동반성장 활동을 지속해 앞으로도 함께 혁신을 이뤄낼 것"이라고 화답했다.

2023년 최악의 침체기를 겪었던 메모리 반도체 업황이 2024년 들어 뚜렷한 회복세를 보이면서 소재·부품·장비(소부장) 기업들의 실적도 반등했다.실적 개선을 좌우한 요소는 분명했다.SK하이닉스가 주도하고 있는 고대역폭메모리(HBM) 시장에 '승선'했느냐다.

엔비디아에 HBM을 사실상 독점 공급하며 주도권을 가져간 SK하이닉스는 2023년 32조7657억원이던 매출액이 2024년 66조1930억원으로 2배 이상 증가했다.영업이익은 7조7303억원 적자에서 23조4673억원 흑자로 반등했다.SK하이닉스의 호실적은 소부장 협력사들의 폭발적인 실적 개선으로 이어지고 있다.주요 기업들을 정리해본다.원자 단위로 박막을 만드는 원자층박막증착(ALD) 장비를 생산하는 주성엔지니어링은 SK하이닉스 밸류체인의 핵심 멤버다.

HBM은‘단층집’인 D램을 마치‘아파트’처럼 쌓고 층과 층 사이는 엘리베이터처럼 연결한 실리콘관통전극(TSV)으로 연결해 데이터 처리 속도를 획기적으로 높인 기술이다.

주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 물질을 정밀하게 입히는 증착장비를 주력 생산한다.핵심 제품인 ALD는 나노미터(㎚,1㎚=10억분의 1m) 이하 미세회로선폭 반도체 공정에 필수로 쓰인다.

SK하이닉스는 HBM생산 능력을 늘리기 위해 10nm급 5세대(1b) D램 생산을 확대하고 있다.주성엔지니어링의 ALD 장비는 1b D램 양산을 위한 핵심 장비 중 하나다.

주성엔지니어링의 지난해 매출액 4094억원,영업이익은 972억원을 기록했다.매출액은 전년 대비 44%,토토 경기취소 제로영업이익은 236% 증가했다.1분기 매출은 1208억원,영업이익은 339억원을 기록했다.작년 같은 기간보다 매출은 113.4%,영업이익은 384.3% 증가했다.

반도체 웨이퍼의 모습.뉴스1
반도체 웨이퍼의 모습.뉴스1
HBM 수율 확보 경쟁이 치열해지면서 기존엔 주목 받지 않았던 세정 장비 업체들의 실적도 상승 곡선을 타고 있다.HBM은 세대가 발전하면서 적층 단수가 8단,12단,16단으로 증가하고 있다.적층 단수가 늘수록 제조 과정에서 결함 발생 가능성이 높아진다.

코미코는 반도체 장비 부품의 오염물을 고도로 정밀하게 제거(세정)하고,코팅을 통해 오염물이 부품에 다시 붙지 않는 장비를 주력 생산한다.코미코는 10㎚ 수준까지 미세 오염을 제어하고,고온·고압 공정을 견디는 플라즈마 코팅,세라믹 코팅 등 특수 표면처리 기술을 바탕으로 SK하이닉스 HBM공정에 다수의 장비를 공급한 것으로 전해진다.

코미코의 지난해 매출은 5071억원,영업이익은 1124억원을 기록했다.전년 대비 매출은 65%,영업이익은 210% 증가했다.
HBM공정에 필요한 습식 세정 장비를 생산하는 제우스 역시 상당폭의 실적 개선을 이뤄냈다.제우스의 세정 장비는 TSV 공정에서 웨이퍼의 후면을 얇게 갈아내는 백그라인딩 이후 캐리어 웨이퍼를 떼어내고 남은 불순물을 세정하는 작업을 주로 담당한 것으로 알려졌다.

제우스의 지난해 매출은 4908억원,온라인 카지노 처벌 카지노사이트검증사이트영업이익은 492억원을 기록했다.1년 전보다 매출은 22%,영업이익은 7배 가까이 늘었다.

최근 벤더 이원화 문제로 관계가 삐걱대곤 있지만 HBM 열풍의 최대 수혜자는 SK하이닉스의 HBM 양산의 핵심인 열압착장비(TC본더)를 사실상 독점 공급한 한미반도체다.

HBM칩을 수직 적층하는 후공정 핵심 장비인 TC본더를 생산하는 한미반도체는 2024년 매출액 5589억원,영업이익 2554억원을 기록하며 최고의 한 해를 보냈다.한미반도체는 현재 엔비디아의 AI가속기에 들어가는 HBM3E 12단 제조용 TC본더 시장 90% 이상을 점유 중이다.

올 1분기 매출액은 전년 동기와 비교해 81% 늘어난 1400억원을 기록했다.영업이익은 139% 늘어난 686억원이었다.영업이익률이 50%에 육박하는 수준이다.

파크시스템스 연구원들이 원자현미경을 검사하는 모습.파크시스템스 제공
파크시스템스 연구원들이 원자현미경을 검사하는 모습.파크시스템스 제공

검사 및 계측 분야 기업들도 승승장구하고 있다.가장 대표적인 기업이 원자 단위 계측을 돕는 원자현미경 업체인 파크시스템스와 TSV의 완성도를 정밀 계측해 수율 확보를 돕는 오버레이 장비를 생산하는 오로스테크놀로지,웨이퍼 미소 패턴 결함 검사장비 개발 업체 넥스틴이다.

파크시스템스는 원자현미경은 반도체 회로선폭이 나노미터 단위로 미세화하면서 반도체 검사를 위해 도입이 활발히 이뤄지고 있다.원자현미경은 나노미터(㎚) 단위를 넘어 원자 수준까지 표면 구조를 정밀하게 측정할 수 있는 첨단 계측 장비로,HBM 각 층 간의 표면 평탄도,접합 상태,미세 결함을 기존 광학현미경이나 전자현미경보다 훨씬 더 정밀하게 측정할 수 있다.

파크시스템스는 지난해 매출 1750억원,영업이익 385억원을 기록했다.각각 전년 대비 21%,40% 증가한 수치다.올해 1분기 매출은 전년 동기 대비 98% 늘어난 509억원,영업이익은 무려 2478% 증가한 132억원을 내며 역대 최대 실적 경신을 예고하고 있다.

주성엔지니어링 판교 R&D 센터의 모습.주성엔지니어링 제공
주성엔지니어링 판교 R&D 센터의 모습.주성엔지니어링 제공

HBM공정에서 TSV의 완성도를 정밀 계측해 수율 확보를 돕는 오버레이 장비를 생산하는 오로스테크놀로지도 지난해 매출 614억원,영업이익 61억원을 기록하며 선전했다.1년 만에 매출은 35%,영업이익은 154% 뛰었다.

HBM 수율 확보의 핵심인 웨이퍼 워피지(휨) 검출을 위한 핵심 검사 장비인 웨이퍼 미소 패턴 결함 검사장비를 개발한 넥스틴도 SK하이닉스에 다수의 제품을 납품하며 실적이 크게 뛰었다.넥스틴은 지난해 매출 1137억원,영업이익 470억원을 기록하며 41%의 높은 이익률을 기록했다.매출과 영업이익이 각각 전년 대비 29%,30% 뛰었다.

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