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4일 경기 화성시청 2층 접견실에서 정명근(오른쪽 첫 번째) 화성시장이 프랭크 헤임스케르크(왼쪽 두 번째) ASML 대외총괄부사장과 오니 얄링크(〃 첫 번째) 주한 네덜란드 부대사를 만나‘ASML-삼성전자 연구지원시설’투자에 관해 상의하고 있다.화성시청 제공 
세계적 반도체 장비 기업 ASML
화성에 연구시설 등 추진 중
“시 전폭 지원에 진행 순조”
극자외선(EUV) 노광장비 세계 1위 기업 ASML 임원단이 4일 경기 화성시를 방문했다.노광은 반도체 웨이퍼(원형의 반도체 기판)에 미세한 전자회로를 빛으로 그리는 공정이다.
프랭크 헤임스케르크 ASML 대외총괄부사장은 오니 얄링크 주한 네덜란드 부대사와 함께 4일 화성시청에서 정명근 화성시장을 만나 투자계약을 논의했다.헤임스케르크 부사장은 이 자리에서 “화성시의 전폭적인 지원으로‘ASML 화성 뉴 캠퍼스’(업무시설·재제조시설·트레이닝센터 등) 조성이 계획대로 순조롭게 진행되고 있다”며 “삼성전자는 ASML의 중요 고객사로,헨트이번 연구지원시설 건립은 양사 간의 기술동맹을 돈독히 하고 국내 및 화성시 반도체 기업과의 협력을 확대·강화하는 계기가 될 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.
정 시장은 “ASML이 화성 뉴 캠퍼스에 이어‘ASML-삼성전자 연구지원시설’건립 부지로 우리 시를 선택해 주신 것에 감사하다”면서 “화성에서 추진하는 ASML 프로젝트의 성공을 위해 각종 인허가부터 밀착 지원하는 원스톱 서비스를 제공하겠다”고 말했다.정 시장은 “정부에서 추진 중인 첨단반도체기술센터의 화성시 유치를 위한 적극적인 지원과 조언을 부탁드린다”고 덧붙였다.약 1조 원이 투입되는 ASML-삼성전자 연구지원시설은 차세대 EUV를 활용한 삼성전자의 초미세 반도체 제조 공정 연구·개발(R&D)을 돕기 위한 것이다.
헤임스케르크 부사장 등 ASML 임직원의 시청 방문은 지난 4월 25일 정 시장을 비롯한 화성시 투자유치단이 네덜란드 ASML 본사를 방문해 투자를 요청한 데 따른 것이다.
시는 K-반도체 핵심도시 도약을 위해 지난해 8월부터 피터 베닝크 전 ASML CEO를 비롯한 실무자를 직접 만나 국내 제조시설 설치 등 추가 투자를 요청하는 등 신속한 투자 결정을 이끌어 내기 위해 경기도·한국토지주택공사(LH) 동탄사업본부·한국전력공사 경기본부 등과 긴밀히 협력해 왔다.
화성시 관계자는 “이번 면담을 계기로 네덜란드와 반도체 등 다양한 분야에서 교류·협력을 확대할 것”이라고 기대했다.
화성=박성훈 기자
