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삼성전자 반도체 장비 계열사인 세메스가 전량 수입에 의존하던 반도체 포토공정용 트랙장비인 불화아르곤이머전(ArF-i) 스피너를 국내 최초로 개발해 본격 양산에 들어갔다.
24일 세메스는 올해‘오메가 프라임’2호기 제작에 나서며 스피너 본격 양산에 돌입했다고 밝혔다.스피너는 웨이퍼 표면에 고집적 미세회로를 형성하기 위해 감광액을 골고루 도포하고 노광 후 형성된 패턴을 현상하는 설비다.일본 반도체 업체 도쿄일렉트론(TEL)이 시장 점유율 90% 이상을 차지하며 독점하고 있는 장비다.
반도체에 회로를 새기는 노광 기술은 불화크립톤(KrF),불화아르곤(ArF),ssc 나폴리 대 엠폴리 라인업극자외선(EUV)으로 나뉜다.세메스는 불화크립톤 장비만 제작해 왔는데,ssc 나폴리 대 엠폴리 라인업고성능 노광기에 대응하기 위해 불화아르곤 장비를 개발했다.불화아르곤은 공기를 활용하는 드라이와 액체를 사용하는 이머전 방식으로 나뉘는데,ssc 나폴리 대 엠폴리 라인업세메스는 드라이보다 기술이 높은 이머전 방식의 장비를 개발했다.
세메스의 불화아르곤 장비는 고도의 정밀도를 구현하기 위해 로봇의 위치,ssc 나폴리 대 엠폴리 라인업온도,ssc 나폴리 대 엠폴리 라인업노즐 등을 자동으로 조절하는 시스템을 적용했다.비전감시기능시스템,ssc 나폴리 대 엠폴리 라인업베이크(bake) 공정에서의 자동보정 등의 특화 기술도 탑재했다.최길현 세메스 최고기술책임자(CTO)는“반도체 핵심공정 장비인 오메가 프라임의 개발로 향후 수입대체 효과가 클 것”이라고 예상했다.
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