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경기 화성시가 네덜란드 반도체 장비업체인 ASML이 차세대 노광장비(High NA EUV)를 활용한 삼성전자 초미세 반도체 제조 공정 지원 연구개발 시설을 유치했다고 4일 밝혔다.
정명근 화성시장은 방한 중인 프랭크 헤임스케르크 ASML 대외총괄부사장과 이날 화성시청에서 간담회를 갖고 연구시설 건립에 필요한 행정 지원을 약속했다.
ASML은 반도체 생산에 필요한 극자외선(EUV) 노광장비(반도체 기판에 설계대로 집적회로를 프린팅하는 장비)를 전 세계에서 유일하게 생산하는 반도체 장비 분야 1위 기업이다.
현재 화성 동탄2신도시에 반도체 장비 부품 제조센터와 엔지니어 트레이닝 센터 등 조성 사업을 추진 중이다.