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프랭크 헤임스케르크 ASML 대외총괄부사장(왼쪽 두번째)과 정명근 화성시장(오른쪽)이 대화를 나누고 있다.[화성시 제공]네덜란드 반도체 장비업체인 ASML이 차세대 노광장비(High NA EUV)를 활용한 삼성전자 초미세 반도체 제조 공정 지원 연구개발 시설을 경기 화성시에 건립한다.

4일 화성시에 따르면 ASML은 지난달 28일‘ASML-삼성전자 연구지원시설’건립을 위해 한국토지주택공사와 부지 매입 계약을 체결했다.

ASML은 반도체 생산에 필요한 극자외선(EUV) 노광장비(반도체 기판에 설계대로 집적회로를 프린팅하는 장비)를 전 세계에서 유일하게 생산하는 반도체 장비 분야 1위 기업이다.

화성 동탄2신도시에 반도체 장비 부품 제조센터와 엔지니어 트레이닝 센터 등 조성 사업을 추진하고 있다.

정명근 화성시장은 방한 중인 프랭크 헤임스케르크 ASML 대외총괄부사장과 4일 화성시청에서 간담회를 갖고 연구시설 건립에 필요한 행정 지원에 최선을 다하겠다는 입장을 밝혔다.

정 시장은 “1조원이 투입되는‘ASML-삼성전자 연구지원시설’건립 부지로 화성시를 선택해 주신 것에 감사드린다”면서 “화성에서 추진하는 ASML 프로젝트의 성공을 위해 각종 인허가부터 밀착 지원하는 원스톱 서비스를 제공하겠다”고 했다.

프랭크 헤임스케르크 부사장은 “화성시의 전폭적인 지원으로‘ASML 화성 뉴 캠퍼스’조성이 계획대로 순조롭게 진행되는 것에 감사드린다”며 “삼성전자는 ASML의 중요 고객사인 만큼 이번 연구지원시설 건립을 통해 양사 간의 기술 동맹을 돈독히 하겠다”고 했다.

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