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[파이낸셜뉴스] 저스템이 미국 아이다호주 보이시 마이크론 기술혁신센터에서 지난 6월 말 'N2 LPM(Lord Port Module)' 장비 평가를 성공적으로 마쳤다.
8일 저스템에 따르면 이번에 평가받은 N2 LPM은 반도체 공정 중 원판(웨이퍼)을 보관하고 이동하는 장치(FOUP) 내부 습도를 제어하고 불순물을 제거해 수율을 향상시키는 장비다.현재 저스템이 세계 시장 80% 이상을 점유한다.
마이크론은 오는 2025년 가동을 목표로 보이시 본사 인근에 축구장 10개 규모로 생산라인을 건설 중에 있다.완공 후에는 D램과 고대역폭메모리(HBM) 등을 생산할 것으로 예상된다.현재 공정에 적용할 각종 장비를 테스트 중인 것으로 알려졌다.
저스템은 이미 2019년부터 마이크론이 운영 중인 일본,쇼파카바대만,쇼파카바싱가포르 공장 등에 N2 LPM을 공급 중이다.현재 일본과 대만 HBM 공장에도 관련 장비를 적용한다.이번 평가는 향후 보이시 새로운 공장에 적용하기 위한 최종 검토에 해당한다.
김용진 저스템 사장(CTO)은 "보이시 현지에서 테스트를 성공적으로 마친 만큼 향후 지속적으로 물량을 공급할 수 있을 것"이라며 "HBM 제조 경쟁이 치열한 상황에서 후공정 못지않게 수율 제고를 위한 필수장비로서 N2 LPM 역할이 더해질 것"이라고 말했다.
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