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반도체 소자 실험 실습·실무공정 자기주도 교과목이 대표적
공동실험실에 최첨단 장비 두루 갖춰 차별화된 교육에 한몫
실험실습 중심의 UNIST 반도체 교육을 대표하는 교육 프로그램은 '반도체 소자·실험 실습'과 '반도체 실무공정'이다.
'반도체 소자·실험 실습'은 반도체 소자를 직접 설계·제작하고 특성을 측정 평가하면서 반도체 소재·소자·공정 연구개발(R&D) 역량을 키우는 자기주도 교과목이다.
'반도체 실무공정'은 반도체 기업 재직자들이 강사로 나와 현장에서 사용하는 공정을 가르치는 실무 R&D 기술 교과목이다.
반도체 실무공정의 경우 현재 삼성전자 수석연구원 4명이 플라즈마 공정,m 2 슬롯금속배선 공정,m 2 슬롯클리닝&CMP 공정,패키징 강의를 진행하고 있다.삼성전자,SK하이닉스,세메스 등 반도체 기업 최고기술관리자(CTO),그룹장,기술자문위원 등 전문가들이 반도체산업 최신 동향을 주제로 특강 세미나도 진행한다.
반도체소재·부품대학원과 반도체공학과 학생은 이처럼 자율적 실험실습 교육과 현업 중심 실무 강의를 통해 탄탄한 기본 지식과 최신 기술 동향을 모두 습득한 인재로 거듭난다.
실험·실습 인프라는 반도체 인력 양성을 뒷받침하는 중요 요소다.UNIST가 보유한 첨단 실험실습 인프라는 교육 프로그램과 함께 UNIST 반도체 교육의 차별화와 경쟁력을 잘 보여주는 요소다.
UNIST 연구지원본부(UCRF)는 청정 수준 클래스100,크기 1100㎡ 규모에 반도체 소자 제작에 필요한 전공정,후공정,패키징 공정 장비를 모두 갖추고 있다.최근에는 양자팹지원사업에 선정돼 전자빔 리소그래피 등 초미세 공정 장비 업그레이드와 추가 확보에 나섰다.
반도체소재·부품대학원은 자체 공동실험실에 마스크리스 레이저 리소그래피,이온빔 보조 전자빔 증착기,박막 스퍼터링 증착 시스템,원자층 증착 시스템 등 최신 공정 장비와 키슬리4200 등 반도체 소자 특성 분석 통합 시스템을 모두 구비해 운용한다.
반도체공학과도 자체 공동실험실에 포토리소그래피,반응성 이온 식각 장치,박막증착 장비를 구축했다.
UNIST는 UCRF,반도체소재·부품대학원과 반도체공학과 공동실험실,나노팹 인프라를 활용해 학생에게 다양한 실습교육과 최신 R&D 경험을 제공하고 있다.
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