2025년 장비 도입 위한 테스트 전면 개방형 통합 보관 용기 FOUP 제어,반도체 수율 향상 “글로벌 시장 80% 장악”
저스템 사옥저스템(대표 임영진)이 미국 아이다호주의 보이시(Boise)에 있는 마이크론 기술혁신센터(연구개발 반도체 제조공장)에서 6월 말‘N2 LPM(Lord Port Module)’장비평가를 성공적으로 완료했다고 8일 발표했다.저스템은 “내년도 수출전망이 밝다”고 설명했다.
저스템이 이번에 평가받은 N2 LPM 장비는 반도체 제조 공정에서 사용되는 것으로,웨이퍼를 보관하고 이동하는 FOUP(Front Opening Unified Pod,전면 개방형 통합 보관 용기)의 내부 습도를 제어하고 불순물을 제거함으로써 반도체의 수율(생산 효율)을 높이는 역할을 하는 장비다.현재 저스템이 세계시장의 80퍼센트 이상을 점유하고 있는 것으로 추정된다.
북미지역에서 유일하게 D램을 생산하는 마이크론은 아이다호주 보이시에 본사와 기술혁신센터 (연구개발센터)를 두고 2025년 공장가동을 목표로 축구장 10개규모에 해당하는 생산라인을 건설 중에 있다.공장이 완공된 후에는 첨단 D램(DRAM,Dynamic Random-Access Memory,동적 랜덤 접근 메모리)과 HBM(High Bandwidth Memory,슬롯나라 단점고대역폭 메모리)을 생산할 것으로 예상되며,현재 이 공정에 적용할 각종 장비들을 테스트하고 있는 것으로 알려졌다.D램은 컴퓨터와 전자기기에서 일시적인 데이터를 저장하는 역할을 하고,HBM은 높은 데이터 전송 속도를 제공하는 고성능 메모리 기술이다.
저스템은 “이미 2019년부터 마이크론의 글로벌 생산라인인 일본,슬롯나라 단점대만,슬롯나라 단점싱가폴 등 에 N2 LPM을 공급하며 기술력과 신뢰성을 입증했다”며 “현재 일본과 대만 HBM라인에도 이 장비가 적용되고 있어 이번 평가는 향후 보이시의 새로운 라인에 적용을 위한 최종 검토차원으로 판단된다”고 밝혔다.
저스템 CTO인 김용진 사장은 “2025년 이후에는 보이시공장이 주요 생산라인이 될 것이므로 현지에서 테스트를 성공적으로 마친 만큼,향후 지속적으로 물량을 공급할 수 있을 것으로 보인다”면서 “HBM 제조경쟁이 치열한 상황에서 후공정 못지 않게 수율제고를 위한 필수장비로서 N2 LPM의 역할이 더해질 것으로 본다”고 말했다.
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