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정명근 화성시장(오른쪽)이 4일 헤임스케르크 ASML 대외총괄부사장,라이브유오니 얄링크 주한 네덜란드 부대사와 간담회를 하고 있다./사진제공=화성시
경기 화성시가 1조원 규모 연구시설을 유치하는 데 성공했다고 4일 밝혔다.

시에 따르면 극자외선(EUV) 노광장비 세계 1위 기업 ASML이 차세대 EUV 활용 삼성전자 초미세 반도체 제조 공정 연구개발(R&D) 지원을 위한 시설 건립 부지 매입 계약을 지난 28일 LH와 체결했다.

시는 이에 대해 정명근 시장이 지난해 8월부터 ASML 전 CEO(피터 베닝크) 및 실무자를 직접 만나 국내 제조시설 설치 등 추가 투자를 요청하는 등 신속한 투자결정을 이끌어내기 위해 경기도,라이브유LH 동탄사업본부 및 한국전력공사 경기본부 등 유관기관과 협력한 결과라고 설명했다.

정 시장은 방한 중인 프랭크 헤임스케르크 ASML 대외총괄부사장을 만나 "화성 뉴 캠퍼스(업무시설·재제조시설 및 트레이닝센터 등)에 이어 'ASML-삼성전자 연구지원시설'(1조원) 건립 부지로 화성시를 선택해 주신 것에 감사하다"면서 "화성에서 추진하는 ASML 프로젝트 성공을 위해 각종 인허가부터 밀착지원하는 원스톱 서비스를 제공하겠다"고 말했다.

프랭크 헤임스케르크 부사장은 "화성시의 전폭적인 지원으로 'ASML 화성 뉴 캠퍼스' 조성이 계획대로 순조롭게 진행되는 것에 감사하다"고 답하면서 "삼성전자는 ASML의 중요 고객사로,라이브유이번 연구지원시설 건립은 양사 간의 기술동맹을 돈독히 하고 국내 및 화성시 반도체 기업과의 협력을 확대·강화하는 계기가 될 수 있을 것으로 기대한다"고 말했다.

정 시장은 "정부에서 추진 중인 첨단반도체기술센터(ASTC,라이브유한국형 IMEC)의 화성시 유치를 위한 적극적인 지원과 조언을 부탁드린다"고 덧붙였다.

이날 간담회에는 오니 얄링크 주한 네덜란드 부대사 등도 함께 했다.시는 이번 면담을 계기로 네덜란드와 반도체 등 다양한 분야에서 교류협력을 확대할 수 있는 계기가 될 수 있을 것으로 기대하고 있다.

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