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기존 전기식서 냉매식으로 영역 확장국내 반도체 장비업체 GST가 최근 주요 고객사에 냉매식 칠러 데모 장비를 납품한 것으로 파악됐다.차세대 낸드 공정이 극저온 환경으로 나아가는 추세에 맞춰,별 슬롯 카지노 무료 칩 링크기존 전기식에서 냉매식으로 사업 영역을 확장하기 위한 전략이다.
15일 업계에 따르면 GST는 지닌달 주요 메모리 제조업체에 낸드용 극저온 칠러 데모 장비를 공급했다. GST의 전기식 칠러(사진=GST) 
칠러는 제조 환경의 온도를 낮추는 장비다.반도체 공정 전반에 활용되며,별 슬롯 카지노 무료 칩 링크특히 반도체 회로가 새겨진 웨이퍼 상에서 필요없는 물질을 제거하는 식각 공정에 활발히 쓰인다.
기존 낸드용 식각공정은 영상 20°C 내외에서 진행되며,별 슬롯 카지노 무료 칩 링크채널 홀(구멍)을 깊게 뚫는 과정에서는 온도를 영하 -20~30°C까지 낮추기도 한다.이에 칠러도 해당 온도에만 대응하면 성능적으로는 문제가 없었다.
그러나 올해부터는 칠러 업계에 급격한 변화가 일어날 것으로 전망된다.일본 주요 장비업체 TEL(도쿄일렉트론)이 -70°C 내외의 환경에서 더 정밀하고 빠른 식각을 구현하는 신규 장비 'Cryo(크라이오)'를 개발했기 때문이다.현재 해당 장비는 국내 주요 메모리 제조업체의 공정에서 퀄(품질) 테스트를 거치고 있다.
이에 칠러도 -80°C 수준까지 온도를 낮출 수 있도록 요구되고 있다.이러한 추세에 선제적으로 대응한 기업은 유니셈과 에프에스티로,별 슬롯 카지노 무료 칩 링크두 기업 모두 냉매(쿨런트)식 칠러를 주력으로 공급하고 있다.
반면 GST는 전기식 칠러를 전문으로 개발해 왔다.전기식 칠러는 냉매식 대비 에너지 효율이 높고 친환경적이지만,기술적으로 -20°C 이하의 온도를 구현할 수 없다는 한계가 있다.
이에 GST도 경쟁사와 동일한 냉매식 칠러 개발을 진행해 왔다.이후 지난달 국내 주요 메모리 제조업체에 데모 장비를 공급하는 데 성공한 것으로 파악됐다.
향후 퀄테스트 등 실제 상용화를 위한 과제가 남아있으나,칠러 사업의 외연을 확장할 수 있는 기회를 잡았다는 점에서는 의미가 있다는 평가가 나온다.
